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9月9日，工信微报微信公众号发文透露《首台（套）首要时刻装备试验行使指引目次（2024年版）》。其中，在电子专用诞生一栏，氟化氪光刻机、氟化氩光刻机位列其中。该贵府透露，氟化氩光刻机具有65纳米以下的辩认率和8纳米以下的套刻精度。
据东兴证券研报，光刻机可分为直写光刻机与掩膜光刻机，市集主流有i-Iine（汞线）、KrF（氟化氪）、ArF（氟化氩）、ArFi（浸润式氟化氩）、EUV（极紫外）五大类。
这次入选试验目次的氟化氩光刻机，应属于干式ArF光刻机。在具体筹画上，与ASML旗下TWINSCAN NXT：1470以及TWINSCAN XT：1460K近似。
国产光刻机实力几何？
据工信微报发文，这次指引目次是为促进首台（套）首要时刻装备革命发展和试验行使，加强产业、财政、金融、科技等国度赞助计谋的协同。
具体来看，氟化氪光刻机晶圆直径为300mm（12英寸）；照明波长为248mm；辩认率≤110nm；套刻≤25nm。
比较之下，阿斯麦（ASML）的氟化氪光刻机型号有TWINSCAN NXT：870、TWINSCAN XT：860N和TWINSCAN XT：860M。这三个型号，波长均为248mm；辩认率≤110nm。
而指引目次中更为先进的氟化氩光刻机国产 gv，其照明波长为193mm，辩认率≤65nm；套刻≤8nm。
这一数据与ASML旗下TWINSCAN XT：1460K最为接近。该型号照明波长为193mm，辩认率≤65nm。此外，该系统不错在偏振照明下达成低至57nm的分娩辩认率。
比较之下，ASML浸润式光刻机TWINSCAN NXT 1980Fi辩认率≤38nm。据民生证券研报，该型号可达成2.5nm的套刻精度（MMO）。
据东海证券征引ASML官网数据，2023年各种光刻机均价为EUV（17386万欧元）、ArFi（7196万欧元）、ArFdry（2742万欧元）、KrF（1192万欧元）、i-Iine（399万欧元）。
东海证券合计，现在光刻机国产化率仅为2.5%，整机时刻与外洋差距较大，短期5—10年内一方面重心发展90nm、28nm光刻机的研发量产较为要津，一方面重心布局国内半导体零组件发展。
光刻机产业链亟须发展
东海证券称，凭证中国国际招标网信息，半导体诞生招标中，刻蚀、千里积等中枢诞生的国产化率得到了较大的提高，中枢在于时刻上我国相关企业依然迟缓追逐上外洋企业；但光刻机手脚中枢诞生，国产化率不及3%，中枢原因在于零组件供应与整机时刻与外洋差距较大。
9月18日，东方钞票主意板块中，光刻机（胶）板块名次靠前，板块举座涨幅达2.47%。其中，同飞股份（300990.SZ，股价28.43元，市值47.9亿元）、波长光电（301421.SZ，股价35.88元，市值41.52亿元）均得益“20厘米”涨停；新莱应材（300260.SZ，股价18.13元，市值73.94亿元）高涨12.40%。此外，张江高科（600895.SH，股价19.17元，市值296.88亿元）、海立股份（600619.SH，股价5.93元，市值63.65亿元）、凯好意思特气（002549.SZ，股价5.39元，市值37.48亿元）等也涨停。
张江高科受热心，主要因为其曾投资上海微电子公司。张江高科于9月10日在投资者一样平台暗意，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司2.23亿元，合手有上海微电子10.779%的股权，后续未增合手或减合手。
东兴证券称，国内企业中，上海微电子是现在中国第一家亦然独一家光刻机巨头，出货量已占国内市集份额跨越80%，居品主要波及ArF、KrF和i-line界限，其已具备90nm及以下的芯片制造能力。
光刻机零部件方面，同飞股份曾在2023年中报暗意，其液体恒温诞生在半导体制造诞生界限，主要行使于光刻机、刻蚀机、研磨抛光机等要津诞生的温度截至。
不外，凭证东兴证券研报，光刻机中枢组件包括光源系统、双使命台、物镜系统、瞄准系统、曝光系统、浸没系统、光栅系统等。配套交替包括光刻胶、掩膜版、涂胶显影等。
光源系统方面，据华金证券，针瞄准激光光源，科益虹源主要研发248nm准分子激光器、干式193nm准分子激光器等；福晶科技（002222.SZ，股价22.05元，市值103.69亿元）研发KBBF晶体。
另据东兴证券，波长光电为国内激光光学元件的主要供应商，现在，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，公司告捷开辟的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机界限配套。
av天堂快播波长光电曾经于2023年9月15日透露投资者行为记载表称，公司在半导体界限主要波及两个界限：一个是分娩界限，即曝光机、光刻，公司可提供大口径光学镜头用于检测，作念折反、投射，还不错提供平行光源系统；另一个是检测界限，公司可提供检测诞生上的光学元件、组件，也可为客户定制开辟、装音调系统。
物镜系统方面，东兴证券称，茂莱光学（688502.SH，股价77.99元，市值41.18亿元）光刻机曝光物镜超精密光学元件加工时刻已达成产业化。
东海证券研报透露，中国2023年入口光刻机数目高达225台，入口金额高达87.54亿好意思元，入口金额创下历史新高，瞻望3年至5年内我国光刻机主要依赖入口。一台先进的光刻机有多达10万个零部件，举座来看我国半导体零组件的国产化率终点低，尽管在各个赛说念均有相关的国有企业在不断发展，距离外洋企业依然有较大的差距，同期也预示着国内零组件企业公司有较大的发展机遇。
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